普发氦质谱检漏仪系统的检漏方式有哪几种？

　　普发氦质谱检漏仪为气体工业名词术语，是一款能提供定性化泄漏检测的检漏仪，在进气口压力100hPa就能进行检测。德国普发氦质谱检漏仪ASM340以其强大的抽送系统为特征，且具有油式和干式两个版本。易操作性、超快的响应时间以及较短恢复时间都是此等紧凑型多用途装置的凸出特征。即使是在最严苛的检测条件下，ASM340都是用于日常检测的解决方案。

　　是用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散;另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到仅对氦气反应的工作状态)的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。

　　普发氦质谱检漏仪系统的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。逆扩散原理如图所示。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵进气口一端，漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比（气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比）即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。

　　氦质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统和电气部分等组成。氦质谱检漏仪的内部一般有标准漏孔，可将标准漏孔拆卸进行校准，如果不能单独校准标准漏孔，就可考虑直接通过氦质谱检漏仪进行漏率部分的校准，本文主要讨论这种情况下氦漏率的校准方法。

　　氦质谱检漏仪将仅需两个按钮的简便操作同先进的专业系统智能结合起来。质谱仪与真空系统的结合提供了强大的性能，能为不同的应用提供广泛的测试方法。氦质谱检漏仪广泛的选项带来了巨大的配置灵活性，极富活力的设计创意令氦质谱检漏仪能够在严苛的环境中可靠地运行，满足苛刻的工业标准。