普发氦质谱检漏仪是一种基于质谱原理的检漏仪器,由真空系统、氦气充填系统、气体采样系统、加热系统和数据处理系统组成。检测时,将被测物体置于真空室内,使其内部达到所需真空度后,使用氦气充填系统向被测物体外部充填氦气,并通过气体采样系统将被测物体周围环境中的氦气吸入系统内部。在采集过程中,加热系统会对被测物体进行加热处理,以促进任何潜在泄漏点的放大和释放氦气。采集到的氦气进入真空室内的质谱仪中进行分析,通过检测氦气分子的质量/电荷比,来确定被测物体是否存在泄漏。
1、日常保养
清洁外部表面:定期清理氦质谱仪的外部表面,清除灰尘和其他污染物,以防止机器内部的灰尘污染。使用湿布擦拭氦质谱仪的外表,避免使用有溶剂的清洁剂,以免损坏机器。
检查电路和部件:定期检查氦质谱仪的内部电路板,确保电路正常工作,并及时处理可能存在的问题。确保接收器、探头和其他部件的清洁,以保证正常工作。
2、故障处理
内部泄漏:当检漏仪内部存在泄漏时,会对检漏工作造成较大干扰。采用喷氦法寻找漏点,更换密封件。
本底信号不稳定:如果本底信号过高或不稳定,可能是环境本底被污染或质谱室被污染。应通风降低环境本底,或返厂进行清洗。同时,检查电源电压是否稳定,泵油是否被污染。
分子泵不启动:检查供电和前级真空是否正常,常见的原因是前级真空机械泵故障或没有打开造成的分子泵无法启动。
3、定期检查
探头和电缆:定期检查氦质谱仪的探头,确保电子探头的电压和频率正常,以及电子探头的灵敏度和性能是否正常。同时,定期检查外部电缆,确保电缆的紧固程度和性能正常。
电源和软件:定期检查氦质谱仪的电源,确保电源的正常工作和电压的正常调节。还应定期检查软件,确保软件的正常工作。
4、操作注意事项
环境条件:氦质谱检漏仪存放和使用环境要保持干净、卫生,避免外来物进入设备内部。操作人员应严格按照安全操作规程进行操作。
运行监测:使用时,注意观察仪器的运行情况,一旦发现问题(如较大振动、高噪音等),立即切断电源并排除故障。涡轮分子泵高速运转时,不要搬动检漏仪,以免叶片与转子碰撞。