OSAKA涡轮分子泵是一种高性能的真空泵,是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵。其工作原理基于分子碰撞和动能传递的原理,当气体分子与高速旋转的涡轮叶片相碰撞时,会被驱向出气口,再由前级泵抽除。
涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子(即动叶轮)、静叶轮和驱动系统等组成。动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度,一般为150~400米/秒。单个叶轮的压缩比很小,因此涡轮分子泵通常由十多个动叶轮和静叶轮组成,动叶轮和静叶轮交替排列,几何尺寸基本相同,但叶片倾斜角相反。每两个动叶轮之间装一个静叶轮,静叶轮外缘用环固定,使动、静叶轮间保持1毫米左右的间隙,动叶轮可在静叶轮间自由旋转。
1、准备工作
检查设备:确保涡轮分子泵及其附属设备(如前级泵、冷却系统等)处于良好状态,无损坏或泄漏。
清洁环境:保持泵体及周围环境的清洁,避免灰尘和杂质进入泵内。
2、启动步骤
前级泵启动:先开启前级泵,将系统压力抽至一定程度(如2托),为涡轮分子泵的启动创造条件。
涡轮分子泵启动:在前级泵工作稳定后,启动涡轮分子泵。注意观察泵的启动电流和转速,确保正常启动。
3、运行监控
温度监控:监测涡轮分子泵的温度,确保在允许范围内运行。如果温度过高,应及时调整或停机检查。
压力监控:定期检查系统的真空度,确保涡轮分子泵在最佳工作状态下运行。
4、停机步骤
逐步降压:在停机前,应逐渐降低系统压力,避免突然停机对泵造成冲击。
关闭电源:在系统压力降至安全范围后,关闭涡轮分子泵电源。然后关闭前级泵和其他附属设备。
5、维护与保养
定期更换润滑油:根据使用说明书的要求,定期更换涡轮分子泵的润滑油,确保泵的正常润滑和运转。
清洁与检查:定期对涡轮分子泵进行清洁和检查,特别是叶片和轴承部分,确保无磨损和杂质积累。
避免频繁启停:尽量减少涡轮分子泵的频繁启停次数,以延长其使用寿命。
6、特殊操作
处理返油问题:为防止涡轮分子泵本身以及前级泵的油蒸气进入高真空端,可采取一系列措施,如开机前先用前级泵抽至一定压力后再启动涡轮分子泵,停机时从入口端漏入空气达到一定压强等。
烘烤去气:对于某些需要高温烘烤去气的应用场景,应注意控制烘烤温度不超过涡轮分子泵的承受范围(如120℃),并密切监视转子的温度。