CXF-200/1401

产品特点：

节能：无摩擦，避免摩擦热损耗、较其它类型产品能耗降低30％

高效：更长的连续工作时间、高气流量和高抽速

灵活：紧凑型结构，满足更小的物理空间需求、任意角度安装，适合各种设计需求、丰富扩展功能，满足客户定制化需求

应用领域：

科研、加速器、碳化硅、晶体晶振、光伏、Low-E玻璃镀膜、ITO镀膜、光学镀膜、装饰镀膜、平板显示、真空炉

电真空、新能源、新材料、真空干燥、低温制冷、薄膜沉积、刻蚀、离子注入、光刻、电子器件

技术参数：

进气口法兰：DN200 ISO F（标配）  DN200 CF(可选)   DN200 LF(可定制) 

排气口法兰：KF40

抽速速率(L/S)：N₂:1280   Ar:1100    He:880    H₂:560

压缩比：N2:＞1E8    Ar:＞1E8    He:＞1E4    H2:＞1E3

极限压强（Pa）：1E-7（橡胶密封）   1E-8（金属密封）  

最大瞬时入口流量（sccm）：1100

保护气入口法兰（选配）：KF10

推荐保护气体流量:20

最大允许磁场强度:  径向：3  轴向：15

额定转速（rpm）:30000

启动时间（min）:≤6

停机时间（min）：≤8

冷却方式：水冷

冷却水流量（L/min）：2

推荐冷却水温度（℃）：20±5

电源电压（V AC）： 220±10％，50Hz          110±10％，60Hz

适配电源型号：CXFD-1001

建议前级泵： ≥16

重量（kg）：51

产品尺寸图：