爱发科低温泵株式会社，是由株式会社爱发科（当时名称日本真空技术株式会社）与美国BROOKS AUTOMATIONINC.（当时名称Helix Technology Corporation CTI事业部）共同出资、签订技术合作协议而成立的合资公司，诞生于1981年，并从茅崎市的爱发科总部租借场地之后开始正式经营。4年之后，即1985年终于在现在的茅崎市矢烟，总部工厂筹建成功，使规模得以进一步扩大